2026年1月28日，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（下称“恒运昌”）成功登陆上交所科创板。

恒运昌主要从事等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等半导体设备核心零部件的研发、生产、销售及技术服务，致力于提升我国先进制程半导体设备的供应链自主可控。

自主研发打破垄断格局

据招股意向书，2022年至2024年以及2025年1-6月（下称“最近三年及一期”），恒运昌的业绩节节攀升。2022年-2024年分别实现营业收入15,815.80万元、32,526.85万元、54,079.03万元，复合增长率为84.91%，2025年上半年实现营业收入30,405.63万元且同比增长4.06%。

恒运昌致力于技术攻关，成功打破了海外巨头长期以来在国内的垄断格局。随着等离子体射频电源系统产品的更新迭代和技术升级，恒运昌自研产品的销售规模及占比得到快速增长，毛利率也同步提升。

最近三年及一期，恒运昌主营业务毛利率分别为41.49%、45.86%、48.51%和49.01%。同期，恒运昌的净利润分别为2,618.79万元、7,982.73万元、14,154.02万元、6,934.76万元。

为保障创新技术来源的丰富性和可持续性，恒运昌持续加大研发投入，最近三年及一期累计研发投入金额15,709.42万元，占同期累计营业收入比例为11.83%。

截至2025年上半年末，恒运昌及其子公司在职研发人员人数为158人，占员工总数的比例为42.13%，公司已获授权的境内外专利共计261项，包括发明专利108项，实用新型专利61项，外观设计专利92项。

本次IPO，恒运昌拟使用募集资金3.5亿元投入研发与前沿技术创新中心项目，该项目将于深圳市宝安区建设研发中心，并购置先进研发设备、引进高端研发人才，该项目总投资中研发人员薪酬占7,337.00万元。

恒运昌提出将通过本次发行上市，进一步加大资金投入和研发投入，继续推动半导体设备核心零部件的国产化进程，助力提升我国半导体产业链供应链的韧性和安全水平。

募资扩产匹配强劲市场需求

恒运昌通过应用关键核心技术，开发了多款性能指标表现良好的产品，并已通过国内半导体龙头设备商及头部晶圆厂客户的认可。

恒运昌与大客户合作稳定，产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并成为薄膜沉积、刻蚀环节国内头部设备商的战略级供应商。最近三年及一期，前五大客户的合计营业收入占当期营业收入的73.54%、80.39%、90.62%和89.37%，客户集中度较高。

过去十年，半导体行业市场规模增长迅猛，未来亦有较大增长潜力。

Wind统计数据显示，中国大陆半导体行业市场规模从2015年的1,092亿美元增长至2024年的1,819亿美元，复合增长率为5.84%。SEMI统计数据显示，2024 年，中国大陆半导体设备销售额496亿美元，同比增长35%，占全球市场比例达42%。弗若斯特沙利文统计显示，未来全球等离子体射频电源系统市场规模将加速增长，2025-2029年复合增长率预计为10.6%。

面对市场快速增长的需求，恒运昌已积极通过扩产和生产流程优化等方式提升产能。最近三年及一期，恒运昌总产能由2,995台/年增长为10,483台/年，并通过超负荷生产以保供应，公司产能利用率分别达到121.34%、102.12%、111.24%及106.35%，为此仍需大力扩张产能。

本次IPO，恒运昌预计对半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目、沈阳半导体射频电源系统产业化建设项目分别投入募集资金6.9亿元、1.4亿元。两项目分别在深圳、沈阳建设生产运营基地和购置厂房，进一步提升半导体级等离子体射频电源系统的生产能力。

随着募集资金到位，项目建设完成后，恒运昌的产能和配套能力将得到升级，充分发挥公司的产品和技术优势，进一步加强公司的核心竞争力和抗风险能力，有利于整体盈利能力的进一步提高。