光刻核心材料突围！抗反射涂层（ARC）打破欧美日韩垄断，国产龙头已实现规模化量产
抗反射涂层（ARC），指通过抑制界面光反射、提升光透射率的功能性薄膜材料。抗反射涂层具备降低界面反射率、消除驻波效应、抗紫外线等功能，主要应用于光刻工艺中，半导体制造领域为其主要需求端。
抗反射涂层种类丰富。按照基材不同，抗反射涂层可分为有机抗反射涂层以及无机抗反射涂层；按照涂覆位置不同，可分为顶部抗反射涂层（TARC）以及底部抗反射涂层（BARC）；按照结构不同，可分为多层抗反射涂层以及单层抗反射涂层等。BARC具备控制反射界面大、能有效降低驻波效应等特点，应用范围较广。
近年来，我国企业及相关科研机构不断加大对于抗反射涂层的研发投入力度，已获得多项相关专利，主要包括《一种双色光刻底部抗反射涂层及其制备方法》、《高蚀刻率底部抗反射涂层的制备与应用》、《一种底部抗反射涂层及其制备方法和应用》、《一种抗反射无机纳米涂层的制备方法和应用》等。未来随着研究深入，我国抗反射涂层技术将不断进步。
《2025-2030年中国抗反射涂层（ARC）行业市场深度调研及发展前景预测报告》
根据新思界产业研究中心发布的《2025-2030年中国抗反射涂层（ARC）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，抗反射涂层主要应用于半导体制造领域。近年来，伴随全球半导体产业向我国大陆转移，我国芯片行业发展速度加快。据国家统计局发布数据显示，2024年我国芯片产量达到4514亿颗，同比增长22.2%。在芯片制造过程中，将抗反射涂层旋涂于光刻胶和硅衬底之间，能有效吸收光刻工艺中产生的反射光。未来伴随下游行业景气度提升，我国抗反射涂层应用需求将进一步增长。
全球抗反射涂层主要生产企业包括美国杜邦公司（DuPont）、日本信越化学株式会社（Shin-Etsu）、日本合成橡胶公司（JSR）、韩国株式会社东进世美肯（DONGJIN SEMICHEM）、德国默克公司（Merck）等。在本土方面，恒坤新材、麦加芯彩等为我国抗反射涂层主要生产商。恒坤新材已具备BARC规模化生产实力，产品销量位居我国行业领先。
新思界行业分析人士表示，受益于我国半导体制造行业发展速度加快，抗反射涂层应用需求不断增长。未来伴随技术进步，我国抗反射涂层市场空间将得到进一步扩展。全球抗反射涂层市场主要集中于欧美以及日韩等国。目前，我国部分企业已具备抗反射涂层规模化生产实力，未来其行业景气度有望提升。
文章来源：新思界网杨光