彤程新材光刻胶项目新进展 首批产品出货指标对标国际大厂
证券时报
2023-11-05 20:32:44
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原标题:彤程新材光刻胶项目新进展 首批产品出货指标对标国际大厂

11月5日晚间,彤程新材(603650)披露光刻胶项目最新进展——公司已经完成ArF光刻胶部分型号的开发,首批ArF光刻胶的各项出货指标能对标国际光刻胶大厂产品,已具备量产能力等。

彤程新材于2020年12月2日曾公告一则对外投资项目,决定通过全资子公司彤程电子在上海化学工业区投资建设年产1.1万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目。

如今,彤程新材在最新公告中介绍,上述项目工程阶段已竣工,目前已逐步进入试生产阶段。公司上海化学工业区工厂占地36200平方米,设计能力年产1千吨半导体光刻胶、1万吨显示用光刻胶和2万吨高纯EBR试剂(光刻胶去边剂)。同时在国际国内半导体厂商及光刻胶厂商战略合作推动下,完成了产线优化及品控升级。

从公告披露的具体情况来看,半导体光刻胶产能建设方面,公司上海化学工业区工厂年产1千吨半导体光刻胶量产产线,主要包括年产300/400吨ArF及KrF光刻胶量产产线,通过采用超高纯PFA(涂层)设备、引入高精度物料流量控制系统、配以自研的高精度高效率光刻过滤系统,可以实现ppt级金属杂质及0.1um级别的颗粒管控,具备不同配方先进制程光刻胶的生产能力。

半导体光刻胶产品开发及量产方面,主要涉及到两款产品。其中,在ArF光刻胶产品方面,彤程新材已经完成ArF光刻胶部分型号的开发,首批ArF光刻胶的各项出货指标能对标国际光刻胶大厂产品,已具备量产能力,目前处于量产前的光刻工艺测试及产品验证阶段,能否验证通过尚存在一定的不确定性。产能可同时供应国内大部分芯片制造商,能较好地满足国内先进制程光刻胶的部分需求。

此外,目前,彤程新材称G线光刻胶已经占据国内较大的市场份额;I线光刻胶已广泛应用于国内6"、8"、12"集成电路产线,支持的工艺制程涵盖14nm及以上工艺。KrF光刻胶量产品种达20种以上,稳定供应国内头部芯片制造商。

在其他电子化学品项目建设及开发方面,彤程新材表示,为了解决ArF光刻胶所需的高纯溶剂及国内先进工艺制程的需求,公司已经搭建完成高纯EBR装置,成为国内首家建有高纯EBR精馏塔设备及掌握高纯精馏技术的本土溶剂供应商。

“公司生产的EBR溶剂已达到G4等级规格,可满足国内40纳米以下工艺制程的芯片制造技术需求,年产2万吨的规模量产能力可有效满足国内先进制程需求。预计第四季度将完成高纯度G5等级EBR的验证,已在国内几家先进芯片制造商中逐步推动产品验证。”彤程新材指出。

在公告光刻胶项目进展之余,彤程新材亦从客户认证、市场和原材料方面提示了风险。包括:该项目产品存在客户认证周期长和认证计划不确定的风险,能否通过认证尚存在一定的不确定性;项目定位于实现相关材料的国产替代,公司将直接面对国外龙头厂商的激烈市场竞争等。

定期报告显示,彤程新材主要从事新材料的研发、生产、销售和相关贸易业务,目前在中国拥有多家精益制造工厂和国家级实验室。公司是全球知名的特种橡胶助剂和高端酚醛树脂生产商,在汽车/轮胎用特种材料方面长期处于国际领导者地位,也是国内半导体和显示面板光刻胶等电子化学品领先企业。

今年前三季度,彤程新材实现营收约21.96亿元,同比增加18.89%;同期实现归母净利润约3.5亿元,同比增加45.57%。业绩增长主要系公司经营收入稳步增加,以及确认联营企业投资收益增加。

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