PVD如何助力5G第三代半导体工艺的突破
第三代半导体材料的研究对5G通讯具有重要意义，而物理气相沉积技术正是突破第三代半导体工艺的关键之一。
对设备商来说，5G时代，日新月异的半导体产业竞争本就激烈，而在不断探索前沿科技的浪潮中想要立于不败之地，引领潮流，实现技术突破和企业价值更是困难重重。
本期我们邀请到Evatec技术市场经理陆原博士为我们分享当前国际上广泛应用的物理气相沉积技术(PVD)助力5G第三代半导体工艺突破的新思路。
芯片揭秘主播幻实（左）对话Evatec技术市场经理陆原博士
本期话题
1. 半导体企业创新的基石来源于哪里
2. 第三代半导体工艺突破的关键之一
3. 中国半导体行业的潜力以及对未来的展望
半导体企业创新的基石来源于哪里
幻实（主播）
Evatec这个名字好像不是特别为人所知，先请陆博士给我们讲一讲你们是做什么的。
陆原（嘉宾）
Evatec是坐落在瑞士的一家以蒸镀和溅镀沉积平台为主的PVD厂商。大家可能听到Evatec这个名字会比较陌生，其实我们的历史已有70余年之久。从最早在列支敦士登的Balzers到中间的Unaxis/Oerlikon，最后才是我们现在的Evatec，所以我们其实有了70多年的技术积累。
我们现在主要的设备有蒸镀机和溅射机，以真空物理气相沉积为主。我们提供用于先进封装、功率器件、MEMS、无线通信、光电和光子学的完整机器和流程。
BAK蒸镀机平台（图源：Evatec官网）
幻实（主播）
你们是一个有着悠久历史的公司，在这样的一家历史存续很长的公司工作你会有什么感受呢？
陆原（嘉宾）
其实2015年我在德国留学期间就知晓这家公司，它在欧洲是一个非常著名的公司，很注重研发的工艺，并且与瑞士，法国，德国的一些大学都有深入的合作。
在我们的工艺团队当中有非常多苏黎世理工和洛桑理工的博士，这些博士有些是来自于科研单位，有些在工业界积累了很多的经验。
除了引入大量的优秀人才以外，我们还会把每年15%的营收投入到研发当中，所以说Evatec是一个技术力量非常雄厚，掌握了前瞻技术的公司。
LLS EVO II溅射机（图源：Evatec官网）
第三代半导体工艺突破的关键之一
幻实（主播）
这种规模的研发投入需要魄力和长远发展的眼光。您能再给我们展开介绍一下你们产品的独特竞争力吗？
陆原（嘉宾）
我之前在德国一直做的是材料方面的研究。在进Evatec之前，就与这家公司一起合作研发了氮化铝AlN和氮化铝钪AlScN的压电薄膜。如今，这种的压电薄膜能够应用在5G滤波器方面，并且非常重要。
在中国大力发展5G的形势下，我们这个技术能在非常多的商业平台和FAB里面得以运用。
对于Evatec来说，我们本身有非常多高精尖的技术研究的实力，所以我们对于基台能做出这样一个薄膜的性能非常的注重。
在瑞士的实验室，我们有着完整的检测研究设备和团队，并且也会和欧洲非常多的大学进行合作研究，以此来持续推进基台的研发。例如我们今年新发布的平台，可以用来解决氮化铝里面的掺钪，形成比较高的晶体质量。
我们不止为企业提供设备，还能够提供明确的研发方向，以及提高晶体质量的解决方案。
CLUSTERLINE200集群平台（图源：Evatec官网）
注：CLUSTERLINE200可以配置为分别使用单处理模块（SPM）或批处理模块（BPM）进行单基板或批处理的工具
幻实（主播）
听起来第三代半导体好像是你们特别关注的研究方向。
陆原（嘉宾）
的确如此，比如在滤波器、Micro LED、Power Device功率半导体的器械等方面，我们都有着非常成熟的技术，并且我们和欧洲的商业界、学术界有着许多合作研发的计划，包括量产的、前沿的一些研究技术。也会持续的在各种学术展会上进行论文的研讨和报告，这些都是我们Evatec的传统强项。
Evatec的解决方案，包括功率器件（左）LED（右上）和人脸识别3D sensing（右下）（图源：Evatec官网）
中国半导体行业的潜力以及对未来的展望
幻实（主播）
目前来看，我们中国的这些企业和国际上的企业差距大吗？如果有差距，一般会在哪些方面？
陆原（嘉宾）
对于我们欧洲的合作伙伴来说，他们的传统做法是以一个成熟的技术作为核心，加上完备的研发团队，继而开展持续的测试和研究。
可能国内的团队起步比较晚，但是我现在看到越来越多国内的团队，他们的勤奋和努力丝毫不比国外的团队差，也更具有拼搏精神和奉献精神。
在这样的工作状态下，我们赶超或者追平世界先进技术不需要很多的时间。同时我也希望看到国内更多的第三代半导体技术能够生根发芽。
幻实（主播）
第三代半导体不像传统的工艺，我们虽然起步晚，但差的好像不太多。
陆原（嘉宾）
对于我们国内的合作伙伴来说，不管遇到任何问题，不管是工作时间或者是休息时间，他们对快速解决问题都有迫切的意愿。我也在尽力适应这样的一种工作节奏。
在和国内合作伙伴们共同努力之下，攻破一个个原本非常难的工艺难关，对我来说也是一件非常自豪的事情。
幻实（主播）
共同突破，合作共赢，并且不断产出新的技术成果，这是特别有成就感的。
最后也请陆总展望一下未来中国半导体市场的发展，你觉得可能会发生哪些变化？
陆原（嘉宾）
我一直是做5G通讯方向的，我希望在现在的背景下，中国可以有自己的5G滤波器，甚至掌握所有5G前端的技术。
不管如何，未来我们能在材料研发和整个的MEMS设计上面与欧洲、日本甚至美国并驾齐驱，总结出自己的先进理念，最终转化成能够赶超国际水平又拥有自主专利的技术，这才是我的希望。
幻实说
中国半导体行业的市场需求巨大，以5G为代表的新基建带来了极强的内需。
伴随着国家大力发展集成电路的契机，作为半导体重要组成的设备行业必然迎来井喷式增长，有独特技术和工艺的公司将格外得到市场的青睐。
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