人有感知外物的视觉、听觉、嗅觉、味觉、触觉,机器同样可以做到。传感器,就是各类机器的“电子五官”。
7月3日,2025年“活力中国调研行”安徽主题采访团走进位于蚌埠经济技术开发区的中国传感谷。在展示大厅,工作人员指着一款圆形桌面化妆镜介绍,它不仅能照亮容颜,更能通过内置的智能传感器感知皮肤温度、湿度等数据,进而判断皮肤状况。这背后,正是智能传感器在精准采集数据、高效发出指令。
区别于传统机械传感器,MEMS(微机电系统)传感器以其体积小、重量轻、灵敏度高、易于集成等优势,成为人工智能产业发展的关键一环。
近年来,蚌埠市抢抓人工智能时代传感器产业转型升级新机遇,加快科技创新与产业创新深度融合。依托安徽北方微电子研究院集团有限公司等龙头企业和大院大所,该市大力发展MEMS传感器产业,全力打造中国传感谷,推动智能传感器产业集群化、规模化发展。
“目前,蚌埠是安徽唯一同时拥有集成电路及MEMS晶圆生产线的城市。”蚌埠经开区管委会主任陶广生介绍道。
今年5月,全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线在谷内企业安徽华鑫微纳集成电路有限公司正式投产。
在华鑫微纳的洁净车间,记者看到,一套附着在车间天花板上的专用天车系统,正通过上料、下料等操作,将一盒盒8英寸晶圆精准转运至各道工序设备上,最终制造出指甲盖大小的芯片。
该公司产品涵盖惯性传感器、压力传感器、光MEMS执行器、环境传感器、喷墨打印头等,广泛应用于高端装备、汽车电子、工业控制与仪表、石油化工、智能家居、消费电子等领域。
“产线规划月产能为3万片8英寸MEMS晶圆。”公司负责人丁敬秀告诉记者。此外,该公司还拥有一条月产5000片的6英寸MEMS晶圆生产线,可为客户提供低成本的中试与小批量试产服务。
定位为国内领先的8英寸MEMS晶圆代工企业及“开放式、定制化MEMS代工平台基地”,华鑫微纳未来将向全球智能传感器企业供货,为产业链安全提供有力支撑。目前,该公司已与50家客户达成合作意向,意向订单总计约21万片,预计到2026年可实现产值12亿元人民币。
依托强大的MEMS晶圆研发制造能力,蚌埠市成功吸引并带动了一批上下游企业扎根落户。据了解,中国传感谷目前已集聚23家领军企业和200余家智能传感器产业相关企业,初步构建起涵盖材料、设计、制造、封装、测试和应用的全产业链体系,产业经济规模总量已超百亿元。
其中,芯动联科作为国产高性能惯性传感器领域的“隐形冠军”,其MEMS陀螺仪技术参数比肩霍尼韦尔等国际巨头,成为行业标杆。
产业蓬勃发展的同时,园区建设也快速推进。“当前,中国传感谷已形成‘一谷三园多点’的总体布局。”陶广生表示,“三园”即MEMS核心器件产业园、科技孵化园、中央创新产业园,总占地面积达2100余亩;“多点”指各县区结合实际联动发展智能传感器上下游产业,形成全市统筹、县区协同的首位产业发展格局。
2024年,中国传感谷被评为全国MEMS传感器十大园区之一。同年,以中国传感谷为主体,蚌埠经开区规上智能传感器企业产值同比增长55.8%。预计到2027年,中国传感谷产值将突破300亿元。在传感器这条为机器赋予“感知”能力的新赛道上,蚌埠正成为全国的创新策源地之一。
( 本报记者 丰静 王兰兰)